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PicoMaster ATE-150

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产品简介

PicoMaster ATE-150 是一款具有超高精度组件的多功能紫外激光写入器,专为用户提供在感光层中创建最高自由度的微结构而设计。系统的光栅化工作原理,搭配上高速扫描以及可调螺距步进激光头,确保了整个曝光制程在感光层表面准确而稳定地完成。
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系统优点

  • 系统支持高达4095级的灰度、纯二进制模式;

  • 系统对准精度最高小于250纳米,线宽均匀性小于50纳米;

  • 系统最大支持6英寸基版,200毫米/秒扫描速度,150x150毫米曝光面积;

  • 系统采取全封闭结构设计,必需的部件、控制架构和真空泵都在外壳内,便于快速安装;

  • 系统连接到空气温度调节器机组开始供应空调空气时,内置堆式过滤器将产生干净的交叉气流;

  • 系统运动平台由机械缓振系统支撑,它将过滤掉绝大多数的噪音振动,以确保工作时的振动最小。

应用效果

性能规格

  • 咨询专线

    +86 21 67693080

  • 邮箱

    sales@simaxat.com

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