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系统支持高达4095级的灰度、纯二进制模式;
系统对准精度最高小于250纳米,线宽均匀性小于50纳米;
系统最大支持6英寸基版,200毫米/秒扫描速度,150x150毫米曝光面积;
系统采取全封闭结构设计,必需的部件、控制架构和真空泵都在外壳内,便于快速安装;
系统连接到空气温度调节器机组开始供应空调空气时,内置堆式过滤器将产生干净的交叉气流;
系统运动平台由机械缓振系统支撑,它将过滤掉绝大多数的噪音振动,以确保工作时的振动最小。
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